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單晶和多晶少數載流子壽命在線測試設備

  • 簡單描述:應用範圍:靈活的OEM設備,用於多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶矽到多晶矽錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控製。標準軟件接口,易於連接到許多處理或自動化係統。
    在線麵掃和單點檢測MDPlinescan是一個易於集成的OEM單元,可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。
    樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人係統來輸送。應用實例從
  • 更新時間:2021-04-14
  • 產品型號:MDPlinescan
詳細介紹

各種不同的樣品,從單晶矽到多晶矽,從生長的晶片到加工過的晶片,都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測。硬件係統被靈活地安裝來執行樣本的逐行掃描。該軟件接口便於與處理係統或自動化係統進行簡單的連接和通信。

 

MDPlinescan被設計成一個易於集成的OEM單元,用於集成到各種自動化檢測上。關鍵測量是少子壽命掃描。樣品通常由測量探頭下麵的傳送帶或機器人係統傳送。應用實例範圍從磚塊到晶片檢查,測量速度小於每晶片一秒。電池生產線的進料質量調查是常見的應用案例,以及在鈍化和擴散之後的工藝質量檢查,在許多其他的專業應用領域也有很大的可能性。隻需要集成以太網連接和電源就可以了。包括附加電阻率測量選項。


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