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Bruker白光幹涉儀使用後要做哪些維護工作呢?

瀏覽次數:177發布日期:2021-12-10
  Bruker白光幹涉儀是用於對各種精密器件表麵進行納米級測量的儀器,它是以白光幹涉技術為原理,光源發出的光經過擴束準直後經分光棱鏡後分成兩束,一束經被測表麵反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光終匯聚並發生幹涉,顯微鏡將被測表麵的形貌特征轉化為幹涉條紋信號,通過測量幹涉條紋的變化來測量表麵三維形貌。
  Bruker白光幹涉儀的維護:
  1、使用時,各調整部位用力要適當,不要強旋、硬扳。
  2、導軌麵絲杆應防止劃傷、鏽蝕,用畢後,仍保持不失油狀態。
  3、經過精密調整的儀器部件上的螺絲,都塗有紅漆,不要擅自轉動。
  4、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲杆、螺母與軸孔部分,應用T5精密儀表油潤滑。
  5、儀器應妥善地放在幹燥、清潔的房間內,防止振動,儀器搬動 時,應托住底座,以防導軌變形。
  6、光學零件不用時,應存放在清潔的幹燥盆內,以防止發黴。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精混合液輕拭。
  Bruker白光幹涉儀基本原理:
  是用於對各種精密器件表麵進行納米級測量的儀器,它是以白光幹涉技術為原理,光源發出的光經過擴束準直後經分光棱鏡後分成兩束,一束經被測表麵反射回來,另外一束光經參考鏡反射,兩束反射光終匯聚並發生幹涉,顯微鏡將被測表麵的形貌特征轉化為幹涉條紋信號,通過測量幹涉條紋的變化來測量表麵三維形貌。
  Bruker白光幹涉儀的特點:
  1、非接觸式測量:避免物件受損。
  2、三維表麵測量:表麵高度測量範圍為 1nm ---200μm。
  3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
  4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達0.1nm。
  5、高速數字信號處理器:實現測量僅需幾秒鍾。
  6、掃描儀:閉環控製係統。
  7、工作台:氣動裝置、抗震、抗壓。
  8、測量軟件:基於windows 操作係統的用戶界麵,強大而快速的運算。
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